四聯(lián)單面拋光機(jī)
關(guān)鍵詞：?jiǎn)坞p面研磨、拋光設(shè)備
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- 產(chǎn)品描述
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加工流程：
通過(guò)4聯(lián)拋對(duì)半導(dǎo)體硅晶圓進(jìn)行快速加工，實(shí)現(xiàn)對(duì)硅晶圓的超高精度的磨削加工，6寸硅晶圓襯底級(jí)單片TTV≤5um和超高精度表面Ra。
設(shè)備特點(diǎn)：
1.自動(dòng)化生產(chǎn)，無(wú)人工因素干擾，加工品質(zhì)穩(wěn)定，產(chǎn)能高；
2.設(shè)備采用OMRON控制系統(tǒng)，設(shè)備控制系統(tǒng)更穩(wěn)定；
3.PP頭內(nèi)外環(huán)加壓控制結(jié)構(gòu)，產(chǎn)品加工精度更高；（更換產(chǎn)品規(guī)格工藝調(diào)節(jié)更快捷）
4.下盤(pán)采用SUS410材料，并經(jīng)過(guò)特殊退火工藝控制，盤(pán)面精度高，不易變形；
5.物聯(lián)網(wǎng)連接功能，系統(tǒng)化控制，數(shù)據(jù)化管理。
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