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  • WEP150邊緣拋光機(jī).jpg

WEP150邊緣拋光機(jī)

用途：適用于碳化硅、硅、藍(lán)寶石等半導(dǎo)體材料晶圓邊緣拋光，可對(duì)晶圓V-notch、FG-A面、TOP面、CF-B面高效率的拋光加工

關(guān)鍵詞：?jiǎn)坞p面研磨、拋光設(shè)備

所屬分類：

服務(wù)支持：

hiddenValue

  • 產(chǎn)品描述

  • 型號(hào)

    WEP150

      加工范圍

    工件規(guī)格

    6 ″（改制可擴(kuò)展至8 ″）

    加工效率

    約 3min/片

    供液桶容積

    50L

    設(shè)備總功率

    功率

    約5.5 kW

    設(shè)備尺寸（長(zhǎng)*寬*高）

    約2650mm*1450mm*2200mm

    設(shè)備重量

    約3000 KG

產(chǎn)品詢價(jià)

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